天津北方網訊：近日，天津經開區企業天津綠菱氣體股份有限公司（以下簡稱綠菱氣體）年產1000噸溴化氫（HBr）合成生產線完成各項驗收並正式投產，標志著綠菱氣體在強腐蝕性電子特氣領域的研發—制造—質控能力實現體系化突破，填補了國內高純溴化氫（HBr）規模化生產的空白。

溴化氫（HBr）根據工業應用需求，純度一般分為3N和5N級別。3N級溴化氫（HBr）氣體可滿足大部分工業化學合成和加工需求，在平衡純度、成本與性能方面具有顯著優勢，是一種重要的基礎化工原料。3N級溴化氫（HBr）通過進一步精餾工藝可得到5N電子級溴化氫（HBr）氣體，電子級溴化氫（HBr）氣體主要應用於半導體摻磷的N型多晶硅、摻磷的單晶硅或者二維半導體的蝕刻工藝，是目前國產化率較低的高端電子特氣。

為『突破關鍵材料國產化瓶頸，構建自主可控產業鏈』，綠菱氣體技術團隊通過全流程自主創新，集成國際先進工藝與分析方法，攻克了超強腐蝕工況下的設備選型與工程設計、高效吸附純化系統開發等核心技術難題，歷時18個月建成國際領先水平的溴化氫（HBr）合成生產線並實現量產。

隨著該產線的順利投產，未來將滿足市場對工業級3N溴化氫（HBr）的產品需求，推動電子特氣產業向『高端化、安全化、低碳化』高質量發展邁進，顯著提昇了南港工業區在高端化學品領域的影響力和競爭力，擴充了南港京津電子化學品基地產品供應，同時對深入服務京津冀協同發展、促進京津冀集成電路產業發展、保障產業鏈安全穩定，助力京津冀集成電路產業高質量、健康發展都有重要作用。

據了解，綠菱氣體是全球高純電子特氣的主要供應商之一，為國內外著名大型半導體芯片制造商供應產品和服務，自主研發的二十多種半導體制程氣體材料成功填補國內空白並首次實現產品淨進口轉為出口，為全球唯一高純氧硫化碳電子特氣產品工業化生產供應商，產品市場佔有率60%以上。 （津雲新聞記者 霍艷華）