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北方網消息: 國內最長的直徑130毫米區熔硅單晶日前在本市環歐半導體材料技術有限公司成功面世,其長度達到了930毫米,這標誌着本市的區熔硅單晶產品技術水平在國內處於領先水平。
硅單晶是主要的半導體材料,根據生產方法的不同,分爲直拉硅單晶和區熔硅單晶兩大類。區熔硅單晶純度高,晶格結構相對更完美,是大功率器件、探測器器件的主要材料。由於區熔法生產硅單晶設備複雜,原料昂貴,大直徑化難度極大,目前153毫米直徑是國際上區熔硅單晶的最大直徑。國內目前只能生產76-104毫米直徑的區熔硅單晶,130毫米直徑的區熔硅單晶正處於試製階段,直徑130毫米長度達930毫米的區熔硅單晶創下了國內之最。
本市環歐半導體技術有限公司是我國最早的半導體材料專業生產企業之一,去年企業區熔硅單晶系列產品產量達到8.63噸,佔全國總產量30餘噸的25%,成爲全國區熔硅單晶產量最大的企業。1998年,該公司在國內首創了用直拉區熔法(CFZ法)生產硅單晶的技術,2000年公司又在全國率先成功開發出氣相摻雜區熔硅單晶系列產品。今年3月,公司從丹麥引進目前國際上最先進、最大的FZ-30區熔爐,現已利用自己的技術生產出全球最長的直徑76毫米區熔硅單晶(長2.2米),全球最長的直徑104毫米區熔硅單晶(長度達1.5米)和全國最長的直徑130毫米區熔硅單晶。
據瞭解,我國飛船和衛星等航天太陽能電池硅片的85%以上份額由環歐半導體佔有,1999年我國成功發射的第一艘載人實驗飛船“神舟號”的電源系統上所使用的航天級太陽能電池硅片全部爲該公司的產品。
目前,環歐半導體材料技術有限公司正在試製直徑153毫米的區熔硅單晶。(記者吳巧君 柳悅)
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