2005年11月29日,一封“對863計劃——‘基於MEMS技術的天然氣流量計實用化研究’項目申報負責人與申報材料的檢舉報告”從杭州市寄往科技部辦公廳、監察局以及“863”計劃監督委員會。該報告還同時遞交浙江大學紀檢部門。
這封由杭州中矽微電子機械技術有限公司發出的檢舉報告稱:國家863計劃——“基於MEMS技術的天然氣流量計實用化研究”項目負責人傅新、徐兵剽竊舉報人公司的MEMS流量傳感器的測試數據及樣片作爲863計劃申報材料,並作爲其863項目驗收以獲得通過的關鍵性“研究成果”。
據該報告描述:2005年9月19日國家863計劃網站上正式公佈“基於MEMS技術的天然氣流量計實用化研究”課題通過驗收。
該課題驗收通過的結論是——該課題成功研製了精度高、流阻小、量程寬的TMF熱式流量計系列產品,產品應用前景廣闊。在課題實施過程中,重點研究解決了硅膜與基體材料之間的高效絕熱薄膜層材料和加工工藝,以及傳感器表面抗腐蝕、耐磨損、低粘附性封裝材料及封裝工藝;適用於天然氣計量的熱式流量計供電模式、靜壓誤差補償、溫度漂移、表面粘滯效應等關鍵技術及工藝問題;研製出熱慣性低、頻響高的芯片級傳感器和高精度、大量程、低功耗的熱式流量計產品。
該結論中對傳感器重點研究解決的問題及所謂關鍵“研究成果”的描述(黑體部分)都爲本公司擁有自主知識產權的產品——MEMS流量傳感器已經具有的基本特性(以發明專利證書及資料爲證)。
“本公司認爲,該項目課題負責人剽竊本公司的MEMS流量傳感器作爲驗收通過的內容,是弄虛作假的行爲,與863計劃鼓勵創新的宗旨不符,也是侵犯我公司利益的行爲。”
是合作還是預謀?
被舉報人傅新是浙江大學教授、博士生導師,是浙大“流體傳動及控制國家重點實驗室”主任;徐兵是浙江大學副教授,該實驗室研究人員,是863計劃——基於MEMS技術的天然氣流量計實用化研究項目的申報人。雖然徐兵是該項目的申報人,可杭州中矽微電子機械技術有限公司(以下簡稱中矽微公司)執行董事朱立卻認定作爲學科帶頭人的傅新是最主要的剽竊者。
杭州中矽微公司是中國寶龍電子集團的子公司。寶龍集團是浙江省的高新技術企業。2004年初,寶龍集團的合作者——塗相徵教授負責的MEMS研發小組在美國硅谷成功做出第一片傳感器芯片。集團隨即於2004年6月設立杭州中矽微電子機械技術有限公司(以下簡稱中矽微公司)來進行MEMS產品的開發生產。
塗相徵從1984年就從事MEMS領域的研究,先後在清華大學微電子研究所、美國和臺灣地區等著名的MEMS研究開發機構和生產廠商擔任顧問。他在MEMS技術上已經取得美國發明專利15項,中國發明專利16項。中矽微公司成立後,塗教授所有與本項目有關的專利均已轉入中矽公司。
畢業於清華大學,又從美國硅谷回來的毛巨林是中矽微公司的總經理。他了解到傅新教授所在的國家重點實驗室在流體傳動領域有較大影響力,談好與其合作開發基於MEMS技術的氣體流量計。塗相徵教授也專程到該實驗室進行了考察。2004年7月3日傅新以個人身份與杭州中矽微公司簽訂了“技術合作開發意向書”,核心內容是:(1)中矽微向傅新課題組提供芯片,用於試驗研究和開發工業級的氣體質量流量計。(2)傅新課題組向中矽微提供試驗結果和流量計相關技術。(3)中矽微擁有質量流量傳感器芯片和相關技術的知識產權,中矽微和傅新課題組共同擁有流量計的知識產權。(4)中矽微保證在工業級流量計取得經濟效益時,按一定比例與傅新課題組分享。
由此,雙方開始使用中矽微提供的傳感器芯片進行試驗研究。毛巨林說,測試結果表明由中矽微提供的芯片性能明顯優於傅新課題組所調研瞭解的國內外同類芯片。隨後,傅新課題組安排了以謝海波博士爲主的研究小組,專門開展針對該芯片應用到流量儀表上的二次電路模塊研究。中矽微按試驗的需要提供了35只芯片給傅新課題組。
2004年浙江省科技廳組織6位專家(包括傅新)對中矽微公司的MEMS熱式流量傳感器進行鑑定。專家組一致認爲:該項技術處於國內領先水平。一直到2005年9月,中矽微方面認爲雙方的合作是順利的。
朱立和毛巨林在靜靜的等待着傅新課題組的實用化研究成果。2005年10月8日,國慶長假後上班的第一天,中矽微公司的技術人員突然從科技部官方網站上看到了那則消息。朱、毛二人仔細研究該驗收鑑定結論後認爲:該項目取得成果的重點似乎不是流量計實用化上做的工作,而是研製成功了MEMS熱式流量傳感器芯片,其技術特點和指標和中矽微公司提供給傅新課題組的芯片完全相同。這個項目從標題上看是“×××流量計實用化研究”,如果不留意項目的重大成果內容,還不易發現其核心成果是從中矽微公司的核心技術中移花接木過來!
朱立極其強烈的反應是:我們被傅新耍了!
是剽竊還是自主研發?
讓毛巨林感到震驚的是:傅新是從事流體傳動研究的,爲何會在自己並沒有專業知識、沒有微電子技術基礎的領域來僞造出一個芯片的重大成果?而且也不可能在短短一年不到的時間內完成。中矽微公司堅定地認爲他們的MEMS傳感器技術成果被剽竊了。
中矽微公司很快就和傅新取得聯繫,並要求其作出說明。據朱立講,2005年10月底,傅新來到其辦公室,當面承認是用中矽微公司提供的芯片報了863項目,所有項目驗收用到的流量計儀表和測試結果都是基於相同的芯片,傅新也特別強調:不是一開始就想利用中矽微公司的芯片技術成果,剛開始是想把項目侷限於基於該芯片的實用化研究,但是863項目要求高,沒有芯片這個核心技術沒有辦法通過863項目驗收,後來才只好包裝成浙大課題組自己研究出來的芯片核心技術。傅新說他當初考慮雙方有合作關係,不是故意對中矽微公司的專利進行侵權,因此希望雙方能夠協商解決這個問題。中矽微公司明確提出要求:只要聲明該863項目是應用了中矽微公司的基於MEMS熱式流量傳感器芯片,其它可以概不追究,雙方可以繼續合作。傅新說要考慮一下再給答覆。
中矽微公司在等待一個多月,沒有傅新的答覆和說明後,把檢舉材料遞交浙江大學有關部門,請求調查。這時,傅新有點着急,主動約請朱立要和解。在浙江大學附近的咖啡館,傅新帶着他的學生謝海波與朱立、毛巨林再次溝通。朱立說,傅新終於承認原來的事實,但是希望不要公開聲明該863項目是應用了中矽微公司的基於MEMS熱式流量傳感器芯片。因爲該863項目已經驗收通過,這和他承認在科技領域剽竊是一樣的結果,還要牽累到一些在項目上幫助他的朋友。傅新提出他今後可以做任何事情來還中矽微公司的人情,包括聲明863項目將不再用於產業化,聲明中矽微公司的芯片更優於產品使用化等等。中矽微公司認爲傅新的做法已嚴重侵犯了中矽微公司的知識產權,也不可能彌補公司的損失,因此沒有答應傅新提出的和解意見。
之後,中矽微公司通過律師正式向傅新課題組發函:終止雙方合作關係,並要求歸還提供給傅新課題組的芯片。同時,向科技部紀律檢查部門反映傅新課題組在863項目中的重大問題。
4月20日,中國經濟時報記者見到了“863計劃——‘基於MEMS技術的天然氣流量計實用化研究’項目”申報負責人徐兵副教授。他明確表示,該項目是他牽頭的,是在學科帶頭人傅新教授的指導下進行的。項目中涉及到的傳感器芯片,是他們實驗室自己研製的。他說,“我從沒有和中矽微公司的人接觸過,也不知道傅老師和他們有合作。”
5月29日,中國經濟時報記者在杭州見到了傅新教授。他帶記者參觀了他們的實驗室,並與記者交談了一個多小時。
當記者問及“你以個人名義而不是以浙大的名義與中矽公司合作,出於什麼考慮,你當初看好中矽公司什麼?”時,傅新表示,毛巨林找我談時提出只與我個人合作,我覺得他們在代(加)工方面有一些渠道,做起來比較快,所以就答應了。
談到863項目中所引用傳感器的數據來源時,傅新說:那些數據是我們自己研製的傳感器的數據,與他們的無關。這是浙大的項目,與我跟他們合作的項目根本就是兩回事。我們的實驗室早就開始研究傳感器了,比他們的要早。
記者問,是不是因爲你們自己的傳感器沒有中矽公司的先進,所以纔跟他們合作?傅說,我們的傳感器和他們的傳感器當初都不是很成熟,都需要改進。相比較他們的還可以。
記者問,爭議發生後,你在與中矽公司的接觸中,承認過你們申報的863項目是使用對方的成果嗎?傅說,“我沒有說過,你想我會那麼說嗎,承認是剽竊他們的,怎麼可能呢?”
記者又問,既然你不認爲剽竊他們的成果,爲什麼要提出跟他們和解呢?傅說:提出和解是肯定有的。大家一塊做這件事,如果半途而廢,肯定是個失敗。但是,他們提出了一些很不理智的要求,非要我給他們寫個東西,說明一下在這個項目中引用了他們的技術數據,實際上根本沒這事。
記者問,你在提出和解時是不是說過可以把那個有爭議的863項目科研經費給他們分一些?傅說:沒有說過,要分也是對等分。
記者說,據對方講你還說過“你們把這事捅出去我就死定啦”之類的話。傅說:這樣的話我沒有說過。我是希望他們不要再來鬧,因爲這事情一旦鬧起來,不管是真的假的,傳出去對學校總是一個不好的事情。傅說,作爲學術界的人,是特別在乎名聲的。哪怕我是冤枉的,我要去向有關部門去解釋,要打官司,最多也就是讓他們給我道個歉。我這兒忙得要死,那有精力放在這些事情上。
談到對方要求歸還芯片的事,傅新說,芯片是謝海波領的,他跟我說大部分已歸還了。少部分沒歸還是因爲合作還沒終止,還在使用期,不存在還的問題。
傅新的這些說法,在朱立看來純粹是狡辯。他說:事件發生後我們早就給他發了律師函提出終止合作,他不歸還是因爲他早就把我們的傳感器用掉了,沒東西可還。其實只要把他們自己搞的傳感器和我們的進行對比測試,結論很快就有。朱立認爲,從檢舉後的一味求饒到後來的死不認賬,傅新的所作所爲使人無法相信這是一個國家重點實驗室負責人的做派,更不敢相信這是一個科學工作者的學術作風。至於傅新有沒有學術造假行爲,他的學生謝海波是最重要的知情人。記者曾要通謝海波的電話約他談談,但他沒有露面。
與傅新打交道最多的毛巨林感到十分懊惱,說起與傅新的合作,他感覺如同吞了個蒼蠅。他認爲,傅新拿上中矽微的傳感器去配套研究流量計,並把傳感器也說成是他研究開發的,這跟“漢芯5號”事件裏的陳進把美國買來的芯片說成是他造的如出一轍。他也無法相信,傅新作爲一個從國外留學回來的高級專家,肩負着中國科研的重要使命,怎麼可能連起碼的誠信都沒有呢?因此,他希望國家有關部門儘快調查,還中矽微或傅新一個清白。
去年底,科技部派出調查組赴杭州就此事進行了調查。記者電話採訪了負責此項調查的科技部一位姓王的處長,他說調查組成員已兩赴杭州,目前還沒有最終的結論。
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