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新華網上海4月29日電(記者陸文軍)集成電路是信息產業的核心,也是當前國際高新技術產業競爭的焦點之一。29日,由國資控股的12英寸集成電路生產線項目——華力微電子12英寸全自動芯片生產線55納米工藝產品開始試流片,標誌着這一國家電子信息產業的重大工程進入了新階段。
華力微電子12英寸芯片生產線項目是在上海華虹集團8英寸集成電路芯片生產線基礎上的升級項目,於2010年年初正式啓動。項目投資總額135億元人民幣,將建設成第一條國資控股、主要面向國內市場的12英寸集成電路芯片生產線,具備90-65-45納米技術等級,月產3.5萬片晶圓,驗收後將向更高工藝等級邁進。
據介紹,華力微電子12英寸芯片生產線項目於2010年1月19日啓動,於當年11月20日實現了首臺核心工藝設備光刻機的搬入,並在最短的時間內完成了首期月產能1萬片的設備安裝調試。本條生產線配備了硅片全自動搬運系統,這使得華力微電子成爲國內首家實現全自動生產的12英寸代工企業。
這條規模大、技術新的12英寸集成電路生產線在滬“上馬”,也意味着上海國資控股的集成電路企業將形成國際主流的芯片製造業務格局,從而具備不同技術等級的產品加工能力,可以製造大量國內急需的高端集成電路重要產品,具備承擔和支持國家科技重大專項的相應能力。