天津北方網訊：在我國化學機械拋光(CMP)技術發展和設備產業化生產企業中，天津華海清科機電科技有限公司(簡稱“華海清科”)可謂大名鼎鼎。這是本市踐行“京津冀一體化”國家發展戰略、與清華大學聯合成立的一家高科技企業。公司核心團隊成員來自清華大學等單位，公司擁有衆多項CMP技術專利，是目前國內唯一具備研發和生產12英寸(300mm)銅CMP整機設備能力的企業。

　　企業負責人介紹，“華海清科”成立於2013年，坐落於津南區海河科技園，主要從事CMP設備的研發、生產、銷售與服務。公司已經通過了SEMI S2、SEMI F47、ISO9001等國際認證。CMP是通過使用化學腐蝕和機械作用對加工過程中的晶圓進行平坦化處理，以獲得納米級別的平整表面，是集成電路製造工藝中的五大關鍵技術之一。在國家專項的支持下，清華大學研製出了國內首臺12英寸“幹進幹出”銅製程拋光機，主要技術指標達到並超過國外最先進產品的水平，行業急需將該項科技成果落地轉化，進行產業化生產。“華海清科”爲此圓夢。

　　近年來，“華海清科”加快了科技成果的產業化步伐，新產品不斷問世。2015年8月，“華海清科”自主研發生產的國內首臺12英寸化學機械拋光機Universal—300正式投入生產，良品率達到很高水平；2015年，小型設備Univer—150拋光實驗機也順利入駐客戶廠區，工藝指標完全達到客戶要求；Universal—150 Cluster拋光清洗一體機的設備裝配也已完成，已經進入出廠前調試、工藝試驗階段；升級版Universal—300 Plus也將入駐客戶廠區。隨着新產品的不斷問世，“華海清科”的專業水平與企業實力迅速得到了業內一致認可。“華海清科”在2015年啓動了專利申請工作，共有6項發明及1項實用新型專利獲得了國家批准。

　　企業負責人說，“華海清科”落戶天津，並迅速成長爲科技小巨人企業，這與市、區政府各相關部門的大力支持密不可分。市科委、津南區科委等部門的資助使得“華海清科”自成立以來在資金方面無後顧之憂，得以全身心投入到技術研發、創新、改造的工作中。“華海清科”非常注重人才建設，目前研發團隊中博士佔17%、碩士佔57%、學士佔26%，高端專業人才成爲了“華海清科”迅速發展的基石。

　　展望未來，“華海清科”志向高遠。企業負責人表示，企業將繼續同清華大學保持密切的合作，踐行京津冀一體化戰略，與相關的集成電路製造企業繼續保持良好合作，最終實現CMP設備與技術的全部國產化。相信在不遠的將來，“華海清科”產品一定能夠替代進口設備，爲實現我國集成電路製造裝備及工藝的國產化戰略作出應有的貢獻。