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記者走進上海微系統與信息技術研究所信息功能材料國家重點實驗室。這裏是我國最先進的高端硅基集成電路晶圓片材料SOI研發平臺,也是中科院上海微系統與信息技術研究所所長王曦院士爲之奮鬥十多年的地方。
SOI材料,專業名稱叫“絕緣體上的硅”,是國際公認的21世紀新一代硅基材料,在低壓、低高溫電路、耐高溫電路、微機械傳感器、光電集成等方面都有重要應用。 1998年,王曦放棄國外優越生活條件,毅然回國挑起了中科院SOI項目的“大梁”。
“離子注入”是王曦鑽研多年的SOI材料製備中的關鍵技術。回國後,王曦成功地利用創新技術完成了SOI材料技術工程化研究,建立了生產線。
剛開始,生產線上做出來的SOI硅片瑕疵斑點很多,如同一片片“麻餅”。經過漫長的艱苦跋涉、晝夜奮戰,他帶領團隊終於生產出一個個光潤無瑕、晶瑩剔透的“三明治”圓片。
創建公司、將SOI材料產業化是王曦人生中第二個重要選擇。 2001年,在國家有關部委和中科院領導的支持下,王曦帶領SOI項目組骨幹創建了上海新傲科技有限公司,從“科學家”轉型爲“企業家”。
2002年,中國第一批商業化生產的SOI圓片問世,這讓美國硅谷驚呆了。當地《半導體商業新聞》曾驚呼:就像在一夜之間,中國“突然冒出了一個現代化的高端集成電路硅基片企業”。
2006年,王曦負責的“高端硅基SOI材料研發和產業化”項目榮獲國家科技進步獎一等獎,在關鍵技術上取得一系列重大創新,申請國家發明專利32項,並已獲授權16項。經過十多年創業,目前新傲公司已成爲我國國內唯一、國際屈指可數的SOI生產基地,總資產已超過3億元。
王曦說,“作爲一名科研人員,我們一定要緊緊圍繞國家戰略樹立‘頂天立地’做科研的理念。‘頂天’就是要在基礎研究方面與世界同步,‘立地’就是要在產品的產業化方面扎得深、做得好。 ”