在“十五”863重大專項和相關計劃的支持下,上海微電子裝備有限公司自主設計、製造和集成的國內首臺光刻機樣機研製任務已經完成並通過工藝測試,即將進入上海集成電路研發中心上線運行,使國內光刻機水平實現了幾代技術跨越,取得重大突破,目前,公司對未來發展進行了規劃佈局,將逐步完成5大系列13個產品的開發。